TEKNOLOJİK MALZEMELER SAN. TİC. Ltd. ŞTİ.
Teknoma

TEKNOLOJİK MALZEMELER SAN. TİC. Ltd. ŞTİ.

Ana Sayfa

Uygulamalar

Projeler

Referanslar

Hakkımızda

Vakumda Buharlaştırıcı VE-1001

İnce Film Kaplama, Metalizasyon Ünitesi

Hafif, portatif, sade tasarım ile ince filmlerin hızla kaplanabildiği masa üstü vakum sistemi

 

10-6 Torr’lara 45 dk. kadar kısa bir sürede inebilen turbomoleküler pompa  ve yağsız geri pompalı

 

Atmosfer den 10-7 torr’a tam skala vakum ölçer

 

Alüminyum, Altın, Gümüş, vb. ince filmlerin kolayca kaplanabilir

 

200 Amper’e kadar akım uygulayabilen güç kaynaklı

 

Kaplamanın temiz olabilmesi açısından avantaj sağlayacak pota üzeri kapatıcı (shatter)

 

İki mikroskop camı yerleştirilebilen yüksekliği kolayca değiştirilip ayarlanabilir örnek tutucu

 

Kaplama yapılırken buharlaşmanın anlık takip edilebileceği gözetleme penceresi

 

Gözetleme penceresi camının kirlenmesini önleyebilmek amaçlı kolaylıkla değiştirilebilir kare cam koruyucu

 

Termal kaynak olarak filament, basket, kutu ısıtıcı veya pota kullanma imkanı

Vakum Sistemleri Modüler Termal Buharlaştırma ve Mıknatıssal Saçtırma Vakum Odacıkları

 

Çift taraflı olarak kullanılabilen modüler kaplama sistemi, termal evoparatör ve dc mıknatıssal saçtırma çemberlerinden oluşmaktadır. Modüler yapısı ve kullanım kolaylığı ile iki farklı kaplama tekniğini tek bir sistemde birleştirerek tasarlanmıştır.

 

Termal buharlaştırma tekniği genellikle farklı uygulamalarda kullanılan, temel ince film kaplamaları için idealdir. Buharlaştırıcı madde iletken bir tekneye konur veya alternatif olarak bir dirençli bobin içinde tutulan bir pota yerleştirilir. Tekne veya bobin yüksek bir elektrik akımı geçirerek ısıtılır.

 

 

Teknenin sıcaklığı yükseldiğinde, teknedeki malzeme buharlaşmaya başlar. Malzemenin sıcaklığı ve dolayısıyla buharlaşma hızı, uygulanan akım miktarı ile kontrol edilir. Termal buharlaşmanın önemli bir avantajı, gaz gönderimine ihtiyaç duyulmamasıdır, bu nedenle işlem, çok yüksek vakum koşulları altında gerçekleştirilebilir ve biriktirilen filmler yüksek saflıktadır. Mıknatıssal saçtırma yöntemi ise, ticari ve bilimsel amaçlar için yüksek vakumda ince film üretmenin en yaygın yollarından biridir. Yüksek vakumda sisteme gönderilen Argon gazı iyonlaştırılır ve Ar+ iyonları kullanılan alttaş üzerinde ince bir film tabakası oluşturmak üzere hedef malzemeyi saçtırır. Bu yöntem ile farklı alttaşlar üzerine istenilen kalınlıkta ince filmler kontrollü olarak kaplanabilmektedir.

 

 

Tasarlanan termal evaporatör ve mıknatıssal saçtırma vakum çemberlerine mekanik ve turbo moleküler pompa istasyonları, vakum göstergeleri, DC/RF güç kaynağı, elektronik aksam, su ve hava manifoldu, emniyet kilitleri vb. entegre edilebilir. Sistemler manuel olarak veya bilgisayar kontrolü ile çalıştırılabilir. Sistem her iki kaplama yöntemine uygun olarak 10-6 Torr basınca kadar pompalanabilir. Vakum testleri yapılmıştır.

Electrical feed through

Geniş uygulama yelpazesine sahip olan feedthrouhlar yüksek voltaj ve/veya yüksek akımın bir hazneye aktarılmasını sağlarlar.

Feedthrough tasarımları teknik özellik ve gereksinimlere göre  önemli ölçüde değişebilir. Maksimum  devredilebilir gerilim 100Kv , maksimum akım 800 amperdir.

 

İsteğe bağlı olarak 1000  A kadar dayanıklı bir soğutma sistemi sağlanabilir sıvı soğutmalı geçişler (feedthrough)  tipik topraklanmış kapalı soğutma sistemleri ve deiyonize su veya etilen glikol gibi iletken olmayan soğutucular ile kullanılırlar.

 

 

 

Termal Buharlaştırma Sistemi

 

   Termal buharlaştırma işlemi, çeşitli araştırma alanları ve ince film büyütme işlemi gerektiren üretim teknolojilerinde kullanılmaktadır.

   Bu işlem için, tasarım ve üretimleri gerçekleştirilen termal buharlaştırma sisteminde, vakum değeri 10-6 Torr’a kadar düşmektedir. Böylece, yüksek vakumda termal buharlaştırma işlemi gerçekleştirilmektedir.

Bu sistemde, üç ayrı pota bulunmaktadır.

Bu durum, vakum ortamını bozmadan katman-katman termal buharlaştırma işlemi ve aynı anda üç farklı malzemenin buharlaştırma işlemi yapılabilmesine imkan sağlamaktadır.

 

 

Indium tin oxide, indiyum kalay oksit kaplı TANK camı

 

ITO (Indium tin oxide, indiyum kalay oksit ) elektriksel iletken ve optik geçirgen bir ince film kaplama çeşitidir.

Güneş pillerinde, elektrokromik camlarda, LCD ekranlarda, OLED displaylerde ve ısı bariyerleri olarak kullanılmaktadır.

ITO kaplamalar 1.3x10-4 ohm.cm'den düşük özdirence sahip olup görünür bölgede ışık geçirgenliği %85 den yüksektir. İstenilen kalınlıkta cam üzerine kaplanabilmektedir.

Şu an standart olarak 2.0 mm'lik float cam kullanılmaktadır. Standart olarak float cam üzerine yapılan ITO kaplamalar isteğe göre farklı malzemelerede kaplanabilmektedir.

 

Triple Gun Magnetron Sputtering

Bu proje 2016 yılında TEKNOMA şirketi tarafından Atatürk Üniversitesi Nanomühendislik bölümü için üretilmiş ve gereken testleri yapılmıştır.

 

Sistem 4 farklı girişli çembere ve alternatif bir şekilde aynı anda çalışma kabiliyetinde olan 3 serbest koşullarda çalışan sputter guna sahiptir.

 

Vakum tutma seviyesi:         1.0*(10-6) torr

Tabanca sayısı:                            3 adet

Çamber boyutları(Cm):          D=20, H=45

Yükseklik                                       150 Cm

Kullanılan material:           Paslanmaz çelik

Mıknatıssal Saçtırma Kaynağı

 

2 inç hedefler için DC veya RF çalışabilen ince film büyütme kaynağı.

 

7500 TL+KDV

 

Opsiyonlar:

 

1. Kapatıcı (Shutter):

 

(+700 TL+KDV)

 

2.Manyetik hedef kaplayabilme:

 

 (+400 TL+KDV)

 

3. Sabit açılı eğik:

 

 (+500 TL+KDV)

 

4. Değişken açılı eğme:

 

(+2000 TL+KDV)

 

 

Ürünler

Hizmetler

Teknoma logo

İzmir Yüksek Teknoloji Enstüsü

İYTE Teknopark

T.C. Sanayi Bakanlığı

Tüm Hakları Saklıdır

Email : info@teknoma.net

Tel:  +90 232 765 90 01

Fax: +90 232 765 90 02