Vakum Sistemleri

Vakumda Buharlaştırıcı VE-100
İnce Film Kaplama, Metalizasyon Ünitesi

Hafif, portatif, sade tasarım ile ince filmlerin hızla kaplanabildiği masa üstü vakum sistemi

10-6 Torr’lara 45 dk. kadar kısa bir sürede inebilen turbomoleküler pompa  ve yağsız geri pompalı

Atmosfer den 10-7 torr’a tam skala vakum ölçer

Alüminyum, Altın, Gümüş, vb. ince filmleri kolayca kaplayabilir

200 Amper’e kadar akım uygulayabilen güç kaynaklı

Kaplamanın temiz olabilmesi açısından avantaj sağlayacak pota üzeri kapatıcı (shutter)

İki mikroskop camı yerleştirilebilen yüksekliği kolayca değiştirilip ayarlanabilir örnek tutucu

Kaplama yapılırken buharlaşmanın anlık takip edilebileceği gözetleme penceresi

Gözetleme penceresi camının kirlenmesini önleyebilmek amaçlı kolaylıkla değiştirilebilir kare cam koruyucu

Termal kaynak olarak filament, basket, kutu ısıtıcı veya pota kullanma imkanı

Vakum Sistemleri Modüler Termal Buharlaştırma ve Mıknatıssal Saçtırma Vakum Odacıkları

Çift taraflı olarak kullanılabilen modüler kaplama sistemi, termal evoparatör ve dc mıknatıssal saçtırma çemberlerinden oluşmaktadır. Modüler yapısı ve kullanım kolaylığı ile iki farklı kaplama tekniğini tek bir sistemde birleştirerek tasarlanmıştır.

Termal buharlaştırma tekniği genellikle farklı uygulamalarda kullanılan, temel ince film kaplamaları için idealdir. Buharlaştırıcı madde iletken bir tekneye konur veya alternatif olarak bir dirençli bobin içinde tutulan bir pota yerleştirilir. Tekne veya bobin yüksek bir elektrik akımı geçirerek ısıtılır.

Teknenin sıcaklığı yükseldiğinde, teknedeki malzeme buharlaşmaya başlar. Malzemenin sıcaklığı ve dolayısıyla buharlaşma hızı, uygulanan akım miktarı ile kontrol edilir. Termal buharlaşmanın önemli bir avantajı, gaz gönderimine ihtiyaç duyulmamasıdır, bu nedenle işlem, çok yüksek vakum koşulları altında gerçekleştirilebilir ve biriktirilen filmler yüksek saflıktadır. Mıknatıssal saçtırma yöntemi ise, ticari ve bilimsel amaçlar için yüksek vakumda ince film üretmenin en yaygın yollarından biridir. Yüksek vakumda sisteme gönderilen Argon gazı iyonlaştırılır ve Ar+ iyonları kullanılan alttaş üzerinde ince bir film tabakası oluşturmak üzere hedef malzemeyi saçtırır. Bu yöntem ile farklı alttaşlar üzerine istenilen kalınlıkta ince filmler kontrollü olarak kaplanabilmektedir.

Tasarlanan termal evaporatör ve mıknatıssal saçtırma vakum çemberlerine mekanik ve turbo moleküler pompa istasyonları, vakum göstergeleri, DC/RF güç kaynağı, elektronik aksam, su ve hava manifoldu, emniyet kilitleri vb. entegre edilebilir. Sistemler manuel olarak veya bilgisayar kontrolü ile çalıştırılabilir. Sistem her iki kaplama yöntemine uygun olarak 10-6 Torr basınca kadar pompalanabilir. Vakum testleri yapılmıştır.

Electrical feedthrough

Vakumda Termal Buharlaştırma sistemleri için üretilmektedirler. 

Geniş uygulama yelpazesine sahip olan feedthroughlar yüksek voltaj ve/veya yüksek akımın bir vakum odacığına aktarılmasını sağlarlar.
Feedthrough tasarımları teknik özellik ve gereksinimlere göre  önemli ölçüde değişebilir. Maksimum  maksimum akım 800 amperdir.

İsteğe bağlı olarak 1000  A kadar dayanıklı bir soğutma sistemi sağlanabilir sıvı soğutmalı geçişler (feedthrough)  tipik topraklanmış kapalı soğutma sistemleri ve deiyonize su veya etilen glikol gibi iletken olmayan soğutucular ile kullanılırlar.

Termal Buharlaştırma Sistemi

   Termal buharlaştırma işlemi, çeşitli araştırma alanları ve ince film büyütme işlemi gerektiren üretim teknolojilerinde kullanılmaktadır.

   Bu işlem için, tasarım ve üretimleri gerçekleştirilen termal buharlaştırma sisteminde, vakum değeri 10-6 Torr’a kadar düşmektedir. Böylece, yüksek vakumda termal buharlaştırma işlemi gerçekleştirilmektedir.

Yanda görülen sistemde, üç ayrı pota bulunmaktadır.

Bu durum, vakum ortamını bozmadan katman-katman termal buharlaştırma işlemi ve aynı anda üç farklı malzemenin (co-deposition) buharlaştırma işlemi yapılabilmesine imkan sağlamaktadır.

Indium tin oxide, indiyum kalay oksit kaplı TANK camı

ITO (Indium tin oxide, indiyum kalay oksit ) elektriksel iletken ve optik geçirgen bir ince film kaplama çeşitidir.

Güneş pillerinde, elektrokromik camlarda, LCD ekranlarda, OLED displaylerde ve ısı bariyerleri olarak kullanılmaktadır.

  • ITO kaplamalar 1.3×10^(-4) ohm.cm’den düşük özdirence sahip olup görünür bölgede ışık geçirgenliği %85 den yüksektir. İstenilen kalınlıkta cam üzerine kaplanabilmektedir.
  • Şu an standart olarak 2.0 mm’lik düz cam kullanılmaktadır. Standart olarak düz cam üzerine yapılan ITO kaplamalar isteğe göre farklı malzemelere de kaplanabilmektedir. 
Üç Kaynaklı Mıknatıssal Saçtırma Sistemi

Bu proje 2016 yılında TEKNOMA tarafından Atatürk Üniversitesi Nanomühendislik Bölümü için üretilmiş ve gereken testleri yapılmıştır.

Sistem 4 farklı girişli vakum odacığına ve alternatif bir şekilde aynı anda çalışma kabiliyetinde olan 3 adet mıknatıssal saçtırma kaynağına sahiptir.

Vakum tutma seviyesi:         <1.0x 10^(10-6) torr
Mıknatıssal saçtırma kaynağı sayısı:     3 adet
Vakum odacığı boyutları (cm):          D=20, H=45
Yükseklik                                       150 cm
Kullanılan material:           304 Paslanmaz çelik

Mıknatıssal Saçtırma Kaynağı (Magnetron Sputtering Gun)

TEKNOMA MSG2,  2 inç hedefler için DC veya RF çalışabilen ince film büyütme kaynağı özgün olarak olarak tasarımlanmıştır.  Çesitli üniversitelerde 20 üzeri MSG2 mıknatıssal saçtırma kaynağı kullanılmaktadır.  

1750 USD+KDV

  1. Opsiyonlar:
    Kapatıcı (Shutter):
    (+100 USD+KDV)
  2. Manyetik hedef kaplayabilme:
    (+80 USD+KDV)
  3. Sabit açılı eğik:
    (+70 USD+KDV)
  4. Değişken açılı eğme
    (+250 USD+KDV)
Mıknatıssal Saçtırma Güç Kaynağı (1 kW)

TEKNOMA VN-1001P, mıknatıssal saçtırma kaynakları için tasarımlanmış ve üretilmektedir.  Özellikle TEKNOMA MSG2 vb. kaynaklara uygun olup, ark önleme, güç, voltaj veya akım sabit çalışma, plazma oluştu ve plazma kayıp uyarısı, ark akım ayarlama özellikleri bulunmaktadır.

2000 USD+KDV

Teknik Özellikler:

  • DC veya RF mıknatıssal saçtırma kaynakları için tasarımlanmış ve üretilmektedir. 
  • 1 kW’a kadar DC güç sağlamaktadır.
  • Özellikle 2 inç den 4 inç çapına kadar TEKNOMA MSG2 vb. kaynaklara uygundur.
  • Ark önleme ve ark akımı ayarı bulunmaktadır.
  • Set değeri ayarlanabilmekte bu sayede sabit güç, voltaj veya akım çalışma özelliği bulunmaktadır.
  • Plazma oluştu ve plazma kayıp uyarısı, özellikleri bulunmaktadır.
  • Dijital ekranı ve ayar düğmesi bulunmaktadır.
  • Otomatik katod kullanım zamanını hesaplamaktadır.
  • UHF dişi çıkışı bulunmaktadır.
  • 2 metre uzunluğunda UHF ve Tip N çıkışlı kablosu ile verilmektedir.
  • 220 V, 1 faz ile çalışmaktadır.
Tersinmiş Mıknatıssal Saçtırma Kaynağı
(Silindirik Delik Katod)
Mıknatıssal Saçtırma Sistemi
(Magnetron Sputtering System)

400 mm çap 450 mm yükseklikte vakum odacığı

20 mm kalıklıkta alt ve üst flanşlar.

4 adet bulaştırma potalı veya 4 adet 2 inç mıknatıssal saçtırma kaynağı takılabilen.