Hafif, portatif, sade tasarım ile ince filmlerin hızla kaplanabildiği masa üstü vakum sistemi
10-6 Torr’lara 45 dk. kadar kısa bir sürede inebilen turbomoleküler pompa ve yağsız geri pompalı
Atmosfer den 10-7 torr’a tam skala vakum ölçer
Alüminyum, Altın, Gümüş, vb. ince filmleri kolayca kaplayabilir
200 Amper’e kadar akım uygulayabilen güç kaynaklı
Kaplamanın temiz olabilmesi açısından avantaj sağlayacak pota üzeri kapatıcı (shutter)
İki mikroskop camı yerleştirilebilen yüksekliği kolayca değiştirilip ayarlanabilir örnek tutucu
Kaplama yapılırken buharlaşmanın anlık takip edilebileceği gözetleme penceresi
Gözetleme penceresi camının kirlenmesini önleyebilmek amaçlı kolaylıkla değiştirilebilir kare cam koruyucu
Termal kaynak olarak filament, basket, kutu ısıtıcı veya pota kullanma imkanı
Çift taraflı olarak kullanılabilen modüler kaplama sistemi, termal evoparatör ve dc mıknatıssal saçtırma çemberlerinden oluşmaktadır. Modüler yapısı ve kullanım kolaylığı ile iki farklı kaplama tekniğini tek bir sistemde birleştirerek tasarlanmıştır.
Termal buharlaştırma tekniği genellikle farklı uygulamalarda kullanılan, temel ince film kaplamaları için idealdir. Buharlaştırıcı madde iletken bir tekneye konur veya alternatif olarak bir dirençli bobin içinde tutulan bir pota yerleştirilir. Tekne veya bobin yüksek bir elektrik akımı geçirerek ısıtılır.
Teknenin sıcaklığı yükseldiğinde, teknedeki malzeme buharlaşmaya başlar. Malzemenin sıcaklığı ve dolayısıyla buharlaşma hızı, uygulanan akım miktarı ile kontrol edilir. Termal buharlaşmanın önemli bir avantajı, gaz gönderimine ihtiyaç duyulmamasıdır, bu nedenle işlem, çok yüksek vakum koşulları altında gerçekleştirilebilir ve biriktirilen filmler yüksek saflıktadır. Mıknatıssal saçtırma yöntemi ise, ticari ve bilimsel amaçlar için yüksek vakumda ince film üretmenin en yaygın yollarından biridir. Yüksek vakumda sisteme gönderilen Argon gazı iyonlaştırılır ve Ar+ iyonları kullanılan alttaş üzerinde ince bir film tabakası oluşturmak üzere hedef malzemeyi saçtırır. Bu yöntem ile farklı alttaşlar üzerine istenilen kalınlıkta ince filmler kontrollü olarak kaplanabilmektedir.
Tasarlanan termal evaporatör ve mıknatıssal saçtırma vakum çemberlerine mekanik ve turbo moleküler pompa istasyonları, vakum göstergeleri, DC/RF güç kaynağı, elektronik aksam, su ve hava manifoldu, emniyet kilitleri vb. entegre edilebilir. Sistemler manuel olarak veya bilgisayar kontrolü ile çalıştırılabilir. Sistem her iki kaplama yöntemine uygun olarak 10-6 Torr basınca kadar pompalanabilir. Vakum testleri yapılmıştır.
Vakumda Termal Buharlaştırma sistemleri için üretilmektedirler.
Geniş uygulama yelpazesine sahip olan feedthroughlar yüksek voltaj ve/veya yüksek akımın bir vakum odacığına aktarılmasını sağlarlar.
Feedthrough tasarımları teknik özellik ve gereksinimlere göre önemli ölçüde değişebilir. Maksimum maksimum akım 800 amperdir.
İsteğe bağlı olarak 1000 A kadar dayanıklı bir soğutma sistemi sağlanabilir sıvı soğutmalı geçişler (feedthrough) tipik topraklanmış kapalı soğutma sistemleri ve deiyonize su veya etilen glikol gibi iletken olmayan soğutucular ile kullanılırlar.
Termal buharlaştırma işlemi, çeşitli araştırma alanları ve ince film büyütme işlemi gerektiren üretim teknolojilerinde kullanılmaktadır.
Bu işlem için, tasarım ve üretimleri gerçekleştirilen termal buharlaştırma sisteminde, vakum değeri 10-6 Torr’a kadar düşmektedir. Böylece, yüksek vakumda termal buharlaştırma işlemi gerçekleştirilmektedir.
Yanda görülen sistemde, üç ayrı pota bulunmaktadır.
Bu durum, vakum ortamını bozmadan katman-katman termal buharlaştırma işlemi ve aynı anda üç farklı malzemenin (co-deposition) buharlaştırma işlemi yapılabilmesine imkan sağlamaktadır.
ITO (Indium tin oxide, indiyum kalay oksit ) elektriksel iletken ve optik geçirgen bir ince film kaplama çeşitidir.
Güneş pillerinde, elektrokromik camlarda, LCD ekranlarda, OLED displaylerde ve ısı bariyerleri olarak kullanılmaktadır.
Bu proje 2016 yılında TEKNOMA tarafından Atatürk Üniversitesi Nanomühendislik Bölümü için üretilmiş ve gereken testleri yapılmıştır.
Sistem 4 farklı girişli vakum odacığına ve alternatif bir şekilde aynı anda çalışma kabiliyetinde olan 3 adet mıknatıssal saçtırma kaynağına sahiptir.
Vakum tutma seviyesi: <1.0x 10^(10-6) torr
Mıknatıssal saçtırma kaynağı sayısı: 3 adet
Vakum odacığı boyutları (cm): D=20, H=45
Yükseklik 150 cm
Kullanılan material: 304 Paslanmaz çelik
TEKNOMA MSG2, 2 inç hedefler için DC veya RF çalışabilen ince film büyütme kaynağı özgün olarak olarak tasarımlanmıştır. Çesitli üniversitelerde 20 üzeri MSG2 mıknatıssal saçtırma kaynağı kullanılmaktadır.
2500 USD+KDV
TEKNOMA VN-1001P, mıknatıssal saçtırma kaynakları için tasarımlanmış ve üretilmektedir. Özellikle TEKNOMA MSG2 vb. kaynaklara uygun olup, ark önleme, güç, voltaj veya akım sabit çalışma, plazma oluştu ve plazma kayıp uyarısı, ark akım ayarlama özellikleri bulunmaktadır.
2500 USD+KDV
Teknik Özellikler:
400 mm çap 450 mm yükseklikte vakum odacığı
20 mm kalıklıkta alt ve üst flanşlar.
4 adet bulaştırma potalı veya 4 adet 2 inç mıknatıssal saçtırma kaynağı takılabilen.