Teknenin sıcaklığı yükseldiğinde, teknedeki malzeme buharlaşmaya başlar. Malzemenin sıcaklığı ve dolayısıyla buharlaşma hızı, uygulanan akım miktarı ile kontrol edilir. Termal buharlaşmanın önemli bir avantajı, gaz gönderimine ihtiyaç duyulmamasıdır, bu nedenle işlem, çok yüksek vakum koşulları altında gerçekleştirilebilir ve biriktirilen filmler yüksek saflıktadır. Mıknatıssal saçtırma yöntemi ise, ticari ve bilimsel amaçlar için yüksek vakumda ince film üretmenin en yaygın yollarından biridir. Yüksek vakumda sisteme gönderilen Argon gazı iyonlaştırılır ve Ar+ iyonları kullanılan alttaş üzerinde ince bir film tabakası oluşturmak üzere hedef malzemeyi saçtırır. Bu yöntem ile farklı alttaşlar üzerine istenilen kalınlıkta ince filmler kontrollü olarak kaplanabilmektedir.
Tasarlanan termal evaporatör ve mıknatıssal saçtırma vakum çemberlerine mekanik ve turbo moleküler pompa istasyonları, vakum göstergeleri, DC/RF güç kaynağı, elektronik aksam, su ve hava manifoldu, emniyet kilitleri vb. entegre edilebilir. Sistemler manuel olarak veya bilgisayar kontrolü ile çalıştırılabilir. Sistem her iki kaplama yöntemine uygun olarak 10-6 Torr basınca kadar pompalanabilir. Vakum testleri yapılmıştır.